VS1真空断路器的故障诊断与处理方法包括以下几个方面：

一、故障诊断

1. 真空度降低：真空断路器在真空泡内开断电流并进行灭弧。由于真空断路器没有定性、定量监测真空度特性的装置，所以真空度降低，故障不易被发现，其危险程度远远大于显性故障。
2. 分闸失灵：当断路器分闸失灵时，一般先判断是电气回路故障还是机械方面的故障。当操作电压正常时，操作后铁芯不动，常常说明是电气故障。如果操作后铁芯动作了，则可判断为机械故障。

二、处理方法

1. 对于真空度降低的问题，应定期进行工频耐压试验。若试验过程中真空断路器能持续耐压不击穿，则真空泡真空度下降的可能性不大。若断路器在能断开真空泡内触头弹簧已分断，真空泡内真空度已降低，可通过观察断口间的火花放电情况，判断真空泡的真空度。对于真空度降低的真空泡应及时更换，换上合格的真空泡后，应进行必要的检查：真空度、耐压试验以及开距、超行程等。这样才能确保设备的安全运行。
2. 对于分闸失灵的问题，如果是电气故障，需要检查分闸回路中的各元件情况，如分闸线圈是否烧毁，辅助开关接点、控制开关触点、二次接线和端子是否接触不良，尤以端子排锈蚀和电缆破损为最常见。在紧急情况下，可用扳手将分闸铁芯顶开，用慢分的方法将断路器分开。如果是机械故障，常常是由于断路器动静触头调整不当，或者操作机构合闸后卡涩、分闸铁芯顶杆的力度不够等造成。此时应断开上一级断路器，将拒分的断路器拉至检修位置进行处理。

以上信息仅供参考，如果无法解决问题，建议咨询专业维修人员。